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隨著半導(dǎo)體技術(shù)及微電子技術(shù)的迅速發(fā)展，對(duì)精密加工技術(shù)及零件加工精度的要求也越來越高。定位誤差是影響加工精度的主要因素，而高精度的在線測(cè)量系統(tǒng)又是降低定位誤差的技術(shù)關(guān)鍵。傳統(tǒng)的非光學(xué)測(cè)量方法雖然能夠?qū)崿F(xiàn)納米甚至亞納米的測(cè)量分辨率，但在溯源到米定義時(shí)，仍然需要利用激光千涉儀等光學(xué)方法進(jìn)行標(biāo)定和校正"。因此在現(xiàn)代超精密加工設(shè)備中，普遍采用納米級(jí)分辨率的雙頻激光千涉儀進(jìn)行高精度位移測(cè)量。

美國api激光干涉儀，用于機(jī)床設(shè)備、測(cè)量儀器及精密部件的線性精度、角度及回轉(zhuǎn)角精度的檢測(cè)和驗(yàn)收。

測(cè)量長距離（大于4m）直線度時(shí)，需換用長距離直線度測(cè)量鏡。

連續(xù)生產(chǎn)與*方案：

        為了避免突然停機(jī)、停產(chǎn)，API公司為現(xiàn)代化的機(jī)加工車間提供*測(cè)量解決方案，也就是*方案。長期以來.車間管理人員一直以1D激光測(cè)量系統(tǒng)來繪制機(jī)床誤差圖及進(jìn)行校準(zhǔn)。而這樣一來，想要測(cè)量完整的21項(xiàng)參數(shù)。則需要進(jìn)行21到24次單獨(dú)的安裝調(diào)試.而且每一軸的每一次測(cè)量都需要1-2小時(shí)時(shí)間.因此，整個(gè)機(jī)床的測(cè)量過程通常要占用兩到三個(gè)工作日.這就使得機(jī)床長時(shí)間處于停工狀態(tài)，嚴(yán)重影響了車間的利潤率和生產(chǎn)能力。采用API公司的XD Laser激光干涉儀就*避免了上述缺陷使得對(duì)機(jī)床的測(cè)量快捷、簡便。

儀器的溯源性：

API公司XD系列激光干涉儀的各項(xiàng)參數(shù)(線性、直線度、角度)都是溯源到國家和標(biāo)準(zhǔn)上的。這些精度都經(jīng)過美國國家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)、中國計(jì)量科學(xué)研究院和德國PTB等機(jī)構(gòu)的檢驗(yàn)-

        6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成，從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束，一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學(xué)相位探測(cè)器識(shí)別后進(jìn)行電子記數(shù)，記錄精確長度位移。第二束光用作直線度測(cè)量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對(duì)位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級(jí)管測(cè)得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測(cè)角儀的參考光源，用來測(cè)量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。為了保證激光光束的穩(wěn)定性，測(cè)量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮，以使測(cè)量儀的橫向和角度漂移量都降低到z小，從而保證測(cè)量儀的長期穩(wěn)定性。測(cè)量儀配有自動(dòng)氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器，自動(dòng)校正環(huán)境變化對(duì)激光波長及長度測(cè)量的影響，測(cè)量儀還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器，使由空氣波動(dòng)及溫度梯度引起的測(cè)量誤差降到z小。

美國API 激光干涉儀使用介紹

(一) 硬件的安裝連接及調(diào)光 A. 安裝步驟 ? 首先將激光干涉儀放置于所需測(cè)量機(jī)器的工作平臺(tái)，讓激光照射 的方向大致與所測(cè)軸運(yùn)動(dòng)方向平行。 ? 打開激光干涉儀下面的磁力座開關(guān)（如平臺(tái)非鐵件，需安裝一鐵 板以便磁力座更好的吸附）。 ? 將機(jī)器所測(cè)量軸移動(dòng)至近處軟限位位置。 ? 將 1D/3D 反射鏡鏡面朝向干涉儀方向并安裝在機(jī)器運(yùn)動(dòng)狀態(tài)下穩(wěn) 定不會(huì)晃動(dòng)的零部件上。（反射鏡與干涉儀均可作為運(yùn)動(dòng)測(cè)量） ? 激光干涉儀與反射鏡安裝完畢后，檢測(cè)測(cè)量軸在做全程運(yùn)動(dòng)時(shí)能 有效的接收激光照射且不會(huì)碰到反射鏡及機(jī)器的任意部件。 B. 硬件連接注意事項(xiàng) ? 在做硬件連接前請(qǐng)將電源開關(guān)置于關(guān)閉狀態(tài) ? 氣象站接口（weather ）在連接前請(qǐng)務(wù)必注意方向性，拔出時(shí)請(qǐng)捏 住根部彈簧接口拔出，對(duì)野蠻插拔導(dǎo)致接口損壞，API 不予保修 ? 電源線接口（DC IN 12V ）有螺旋扣，在連接時(shí)需注意。 ? 在安裝好激光干涉儀后將水平與垂直方向的旋鈕調(diào)整至中間位置， 以確保在光路調(diào)整過程中兩個(gè)方向均有可調(diào)節(jié)的余量。 ? 氣象站材料溫度傳感器和空氣溫度傳感器以及大氣壓力傳感器請(qǐng) 放置于機(jī)器的工作臺(tái)面上。 C. 光路調(diào)節(jié)步驟 1. 將反射鏡前面的旋轉(zhuǎn)蓋進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，讓旋轉(zhuǎn)蓋上的白點(diǎn)置于下方 2. 移動(dòng)機(jī)器測(cè)量軸將干涉儀（或反射鏡）移動(dòng)至兩者近端 3. 借助機(jī)器的控制手柄或手輪移動(dòng)其他兩個(gè)軸，讓激光干涉儀的 光線照射在反射鏡的白點(diǎn)位置，如無控制手柄可借助的情況下 請(qǐng)調(diào)節(jié)反射鏡處的磁力座或十字插接件上的連接桿進(jìn)行移動(dòng) 調(diào)節(jié) 4. 移動(dòng)機(jī)器測(cè)量軸將干涉儀（或反射鏡）移動(dòng)至兩者遠(yuǎn)端 5. 如果激光照射在 白點(diǎn)水平位置距離偏差過大致使調(diào)節(jié)旋鈕超 越可調(diào)范圍，請(qǐng)松開激光干涉儀下方的磁力座開關(guān)，移動(dòng)干涉 儀適量角度確保激光照射在白點(diǎn)垂直線上 6. 此時(shí)調(diào)節(jié)激光干涉儀主機(jī)右側(cè)及下方的調(diào)節(jié)旋鈕，使激光光線 照射在反射鏡白點(diǎn)的中心位置 7. 重復(fù) 2、3、4、6 步驟，來回往返數(shù)次，讓激光全程照射在反 射鏡白點(diǎn)中心，此刻初次調(diào)光完成，將反射鏡前端的旋轉(zhuǎn)蓋進(jìn) 行 90 度或-90 度旋轉(zhuǎn)致使白點(diǎn)置于左右兩側(cè) 8. 打開軟件主界面，線性光強(qiáng)窗口條幅深綠色，數(shù)值 100% （機(jī) 器測(cè)量軸全程運(yùn)動(dòng)時(shí)），1D 的配置的激光干涉儀即可有效的測(cè) 量線性精度 .....